MEMS（微小電気機械システム）

MEMS（微小電気機械システム）とは、半導体の製造技術を使って、シリコン基板などの上に微小な機械構造と電子回路を一体的に作り込んだデバイスのことです。

加速度センサー、角速度センサー（ジャイロ）、圧力センサー、マイク、プリンターのインクを吐出するヘッド、光の向きを変えるミラーなどが代表例です。小さく軽く、消費電力が少なく、大量生産によって安価にできることから、スマートフォン、自動車、ゲーム機、ウェアラブル機器などに多数搭載されています。

新規事業でIoT機器を開発する場合、MEMSセンサーを使うことで、小型・低消費電力で多様な計測ができる製品を比較的安価に実現できます。たとえば、機械の振動を測る加速度センサーで故障の予兆を捉えるサービスなどがあります。ただし、同じ種類のセンサーでも精度、測定範囲、温度変化への強さに差があるため、評価用ボードで実際の使用環境に近い条件で試してから選定します。